6JA干涉顯微鏡

一、用途

6JA干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。

6JA干涉顯微鏡配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面，同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。

6JA干涉顯微鏡適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學研究等單位。

二、規(guī)格

測量表面光潔度范圍 0.03～1μm（▽10～▽14）半寬度             ▽λ≈100Å

工作物鏡的數值孔徑 0.65                       工作臺升程         5mm

工作距離           0.5mm                  X、Y方向移動范圍   ≈10mm

儀器的視場 目視　  Φ0.25mm                 旋轉運動范圍       360°

           照相    0.21×0.15mm           儀器標準鏡高反射率  ≈60%

儀器的放大倍數目視  500×                     低反射率           ≈4%

           照相    168×                 可調變壓器輸入電壓    220V

測微目鏡放大倍數    12.5×               輸出電壓             4V～6V

測微鼓分劃值       0.01mm               儀器外形尺寸       270×160×230mm

綠色干涉綠色片波長  λ≈5300Å             儀器重量              ≈5㎏

三、儀器的成套性
1．儀器主體                         1件
2．12.5×測微目鏡                   1件
3．狹縫目鏡                         1件
4．V型塊                            1件
5．6V5W燈泡                         6只
6．可調變壓器220伏/4伏～6伏       1件
7．試樣夾                           1件